BUSINESS高精度XYステージの製作

高い真直度と高精度位置決め性能を有した弊社のXYステージは、
多くのお客様からご好評いただいております。

弊社のXYステージは繰り返し精度・位置決め精度・真直性・直交性において国内でも有数の性能を有し、
多くの御客様からご満足をいただいております。

高精度XYステージの製作

長年にわたった技術の集約と装置組み立て及びハンドラッピングのノウハウの蓄積により生まれました。
大きな特長として、ガイド取り付け面を手作業によるラッピング研磨を行うことにより、機械加工では困難なピッチング、ヨーイング、真直度がご提供できます。

今後もお客様のニーズに合った高精度のステージシステム及び駆動システムの設計・製作すべく、技術向上に努めてまいります。

主な一例

  • ・高精度Z軸の調整
  • ・高精度X軸(単軸)の調整
  • ・高精度X-Y軸(ステージ)の調整
  • ・高精度多軸ステージの調整
高精度XYステージ 主な一例

主な実績

高精度XYステージ 主な実績
  • ①G10世代直動スライダーストローク … 8000
    精度 … ピッチング、ヨーイングともに20秒以内
    駆動方式 … リニアモーションシステム
  • ②直動ステージストローク … 600
    精度 … ヨーイング20秒、ピッチング5秒
    駆動方式 … シャフトモータ
  • ③5軸ステージ繰り返し位置決め精度 … 3μ以内
    軸数 … X、Y、Z、Θ、チルト